报告题目(中文)：基于谐振MEMS技术的创新科学仪器

报告内容简介：MEMS谐振式悬臂梁是一种利用其谐振频率变化与质量变化之间的定量关系来测量微小质量的工具，是目前世界上最灵敏的“天平”。基于MEMS谐振式微悬臂可以实时测量微小质量变化的特性，我们开发了一款创新性的科学分析仪器—功能材料理化特性综合分析仪。该仪器利用首创的“变温实验范式”，可以一次性获取功能材料与气体分子发生表界面作用时的全套热力学/动力学参数，可以实现对材料吸附性能进行本质上的评估。另外，通过在MEMS谐振式微悬臂梁上集成加热元件，研制出了具备片上定域高温自加热功能的微悬臂梁，并基于该创新芯片开发了微型热重分析仪。该仪器与传统热重分析仪相比，在体积、准确性、测试时间、样品消耗等方面更具优势。

报告人姓名：于海涛

报告人简介(中文)：于海涛，博士，毕业于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，现在该所任研究员。主要研究兴趣集中在MEMS生化传感器领域，曾作为项目负责人承担了3项国家自然科学基金项目，参与了包括973、863、自然科学基金重大科研仪器项目等多项，并于2017年入选中科院青年创新促进会。发表SCI论文50余篇，在领域顶级国际会议发表会议报告20余篇，申请/获得发明专利20项。2020年，创立了厦门海恩迈科技有限公司，主要从事基于谐振MEMS技术的创新科学仪器的研发、制造与销售。

报告人单位(中文)：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

报告时间：2020-12-10 13:05

报告地点：A楼323

主办单位：上海大学材料学院

联系人：王林军